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一、 扩展现有薄膜真空计的测量下限。一般而言, 我国现有的薄膜真空计的下限为0.1Pa,为此,必须研制测量下限为0.02Pa以下的低量程薄膜真空计。
二、 消除水、油等可凝性蒸汽的影响, 使薄膜真空计测得的应与压缩式真空测量的同样是永久性气体的分压强。
三、 薄膜真空计是一种相对真空计, 由显示仪表输出的是电参量, 为此必须解决真空计的量值校准问题。
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